Lam Research Corp 価格

ラムリサーチコーポレーションは、集積回路の製造に使用される半導体加工装置の設計、製造、販売、リファービッシュ、サービスを行っています。同社は、タングステンメタライゼーション用のコンフォーマルフィルム堆積に使用されるALTUSシステム、銅配線遷移用の電気化学堆積製品SABRE、フィルム処理用の紫外線熱処理製品SOLA、プラズマ強化CVD ALD製品VECTORを提供しています。また、高密度プラズマ化学蒸着製品のSPEEDギャップフィル、絶縁膜ソリューション用の単一ウェーハ原子層堆積製品Strikerも取り扱っています。さらに、絶縁膜エッチング用のFlex、導体エッチング用のKiyo、シリコン貫通ビアエッチング用のSyndion、金属エッチングプロセス用のVersys金属製品も提供しています。加えて、ダイの歩留まり向上のためのCoronusベベルクリーン製品、さまざまなウェーハ洗浄に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量測定用のMetryxマスメトロロジーシステムも販売しています。同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他の国々の半導体業界に製品とサービスを提供しています。ラムリサーチコーポレーションは1980年に設立され、本社はカリフォルニア州フリーモントにあります。