泛林集团价格

Lam Research Corporation 设计、制造、销售、翻新并提供服务半导体加工设备，用于集成电路的制造。公司提供 ALTUS 系统，用于沉积用于 tungsten metallization 应用的趋肤性薄膜；提供 SABRE 电化学沉积产品，用于 copper interconnect transition，并提供 copper damascene 的制造；提供 SOLA 紫外线热处理产品，用于薄膜处理；以及提供 VECTOR 等离子体增强 CVD ALD 产品。公司还提供 SPEED gapfill 高密度等离子体化学气相沉积产品；以及用于 dielectric film solutions 的 Striker 单晶片原子层沉积产品。 此外，公司提供 Flex，用于 dielectric etch applications；提供 Kiyo，用于 conductor etch applications；提供 Syndion，用于 through-silicon via etch applications；以及提供 Versys 金属产品，用于 metal etch processes。进一步，公司提供 Coronus 倒角清洗产品，以提高器件良率；提供 Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列产品，以满足各类晶圆清洗应用；并提供 Metryx 质量计量系统，用于半导体晶圆制造中高精度在线质量测量。 公司将其产品和服务销售给美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾以及国际市场的半导体行业。Lam Research Corporation 于 1980 年成立，总部位于 Fremont，加利福尼亚州。