Эксклюзив: ASML заявляет, что инструменты следующего поколения EUV готовы к массовому производству чипов, что знаменует важный шаг для производства AI-чипов

ФОТО: Международная выставка импортных товаров в Шанхае · Reuters

Reuters

Пт, 27 февраля 2026 г., 07:04 по местному времени +9, 2 мин чтения

САН-ХОСЕ, Калифорния, 26 февраля (Reuters) — Высокопоставленный исполнительный директор ASML сообщил Reuters, что следующего поколения машина для производства чипов готова к началу массового внедрения, что является значительным шагом для индустрии чипов.

Голландская компания производит единственные в мире коммерческие инструменты экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV), которые являются критически важным оборудованием для производителей чипов. Новое устройство поможет таким производителям, как Taiwan Semiconductor Manufacturing и Intel, создавать более мощные и эффективные чипы, исключая несколько дорогостоящих и сложных этапов из процесса производства, показывают данные ASML.

Компания планирует представить эти данные, которые являются важным этапом, на технической конференции в Сан-Хосе в четверг, сообщил Reuters главный технический директор Marco Pieters.

Разработка дорогостоящих инструментов следующего поколения заняла у ASML годы, поскольку производители чипов пытались определить, в какой момент их использование станет экономически оправданным для массового производства.

Однако, учитывая, что текущие EUV-устройства приближаются к техническому пределу своих возможностей по производству сложных AI-чипов, инструменты следующего поколения — так называемые High-NA EUV — являются ключевыми для индустрии AI, чтобы улучшить чатботы, такие как ChatGPT от OpenAI, и помочь производителям чипов своевременно реализовать свои дорожные карты AI-чипов для удовлетворения растущего спроса.

Новые инструменты стоят примерно 400 миллионов долларов, что вдвое больше стоимости оригинальных EUV-устройств.

High-NA EUV-устройства сейчас испытывают ограниченное время простоя, произвели 500 000 сэндвич-подобных кремниевых пластин и могут наносить достаточно точные узоры, составляющие схемы на чипе, показывают данные ASML, — сообщил Pieters. В совокупности эти три показателя свидетельствуют о готовности инструментов к использованию производителями.

«Я считаю, что сейчас критический момент — это количество проведённых циклов обучения», — сказал он, имея в виду число тестов, проведённых на машинах заказчиками.

Несмотря на техническую готовность, потребуется от двух до трёх лет для проведения достаточного количества тестов и разработок, чтобы интегрировать их в производство.

«(Производители чипов) обладают всеми знаниями, необходимыми для квалификации этих инструментов», — отметил Pieters.

Он также добавил, что компания достигла примерно 80% времени работы и планирует довести его до 90% к концу года. Данные о изображениях, которые ASML планирует опубликовать, достаточно убедительны, чтобы убедить клиентов заменить несколько этапов старым оборудованием одним шагом High-NA, — сказал Pieters. Проработавшие 500 000 пластин машины помогли компании устранить многие недочёты.

(Репортаж Макса А. Черни из Сан-Франциско; редактирование Саянтани Гош и Мэттью Льюис)