人民財訊3月25日電、近日、北方華創は正式に全新一代の12インチ高端誘導結合プラズマ(ICP)エッチング装置——NMC612Hを発表しました。この装置は、先進逻辑と先進存储分野の重要なエッチング工程のニーズに焦点を当てており、正確偏圧制御、射頻多態脈冲制御、超高速通信ネットワーク制御など、多くの技術的課題を克服しています。
北方華創は新世代の12インチNMC612H誘導結合プラズマ(ICP)エッチング装置を発表しました
人民財訊3月25日電、近日、北方華創は正式に全新一代の12インチ高端誘導結合プラズマ(ICP)エッチング装置——NMC612Hを発表しました。この装置は、先進逻辑と先進存储分野の重要なエッチング工程のニーズに焦点を当てており、正確偏圧制御、射頻多態脈冲制御、超高速通信ネットワーク制御など、多くの技術的課題を克服しています。